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等离子清洗机的核心在于通过高压电场或射频能量,将惰性气体(如氩气、氮气)或活性气体(如氧气、氢气)电离,形成由电子、离子、自由基等组成的等离子体。 等离子清洗机作为一种高效、环保的表面处理设备,在半导体、医疗、汽车制造等领域发挥着重要作用。 其核心原理基于等离子体技术,通过物理和化学双重作用实现对材料表面的清洁、活化和改性。 等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行表面处理的设备,其工作原理基于物质第四态(等离子体)的物理和化学作用,通过高能粒子与材料表面的相互作用实现清洁、活化和改性。
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等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。 就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程: 无机气体 被激发为 等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子. 等离子清洗是一种利用等离子体对物体表面进行清洁处理的技术。 它能够在不损伤材料表面的情况下,有效去除油污、尘埃、氧化物等污染物,广泛应用于半导体制造、精密机械、光学器件等领域。 在精密制造与高端电子领域,等离子清洗机已成为不可或缺的工艺设备。 本文将深入解析其工作原理,结合苹果供应链、新能源汽车等20+行业案例,带您掌握这项技术的核心奥秘。
等离子体清洗机的基本清洗原理是利用等离子体,在电场和磁场作用下轰击基体表面,达到清洗基体表面氧化物、污染物的目的。
射频(RF)放电:射频放电是等离子清洗设备中最常用的等离子体产生方式。 通过在高频电场(通常为13.56 MHz)中施加电压,气体分子在高频电场的作用下发生电离,形成等离子体。 等离子清洁机在真空腔体内通入气体(如氩气、氧气或混合气等),通过 射频电源 在一定压力下产生高能量的无序等离子体,利用等离子体轰击清洗材料表面,对材料表面进行清洗、活化,刻蚀等处理,以获得洁净、有活性的表面。 等离子清洗原理是通过等离子体其内部具有特定反应活性或高能量的粒子,如离子、电子、激发态的原子和分子以及自由基等等,去撞击待清洗材料表面,将附着在表面的污染物发生反应生成易挥发的气体,达到清洁的目的